Energieeffiziente Auswerteelektronik für kapazitive mikromechanische Drehratensensoren

Der Bedarf an mikromechanischen Inertialsensoren zur Messung von Drehgeschwindigkeiten und Beschleunigungen ist stark ansteigend. Die Technologie für mikroelektromechanische Systeme (MEMS) bietet hierbei den Vorteil einer hohen Packungsdichte. In dieser Arbeit werden Ansätze auf Systemebene zur Re...

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Main Author: Oshinubi, Dayo (auth)
Format: Electronic Book Chapter
Published: KIT Scientific Publishing 2010
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