Energieeffiziente Auswerteelektronik für kapazitive mikromechanische Drehratensensoren

• Main Author: Oshinubi, Dayo (auth)
• Format: Electronic Book Chapter
• Published: KIT Scientific Publishing 2010
• Subjects: Technology: general issues; Mikromechanik; Inertialsensor; MEMS; energieeffizient; Gyro
• Online Access: DOAB: download the publication; DOAB: description of the publication

Der Bedarf an mikromechanischen Inertialsensoren zur Messung von Drehgeschwindigkeiten und Beschleunigungen ist stark ansteigend. Die Technologie für mikroelektromechanische Systeme (MEMS) bietet hierbei den Vorteil einer hohen Packungsdichte. In dieser Arbeit werden Ansätze auf Systemebene zur Re...