Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen

• Main Author: Teutsch, Michael (auth)
• Format: Electronic Book Chapter
• Published: KIT Scientific Publishing 2013
• Series: Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Materialien, Karlsruher Institut für Technologie
• Subjects: Technology: general issues; Superlegierung; LIGA; Mikrosysteme; Nickel
• Online Access: DOAB: download the publication; DOAB: description of the publication

Ni-Al-Superlegierungen sind bekannt für ihre guten mechanischen Eigenschaften unter hohen Temperaturen. Die elektrochemische Abscheidung von Ni mit Al-Nanopartikeln in LIGA-Strukturen und folgender Wärmebehandlung bietet die Möglichkeit, Ni-Al Superlegierungen für Hochtemperatur-LIGA-MEMS nutzba...