Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen

• Päätekijä: Teutsch, Michael (auth)
• Aineistotyyppi: Elektroninen Kirjan osa
• Julkaistu: KIT Scientific Publishing 2013
• Sarja: Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Materialien, Karlsruher Institut für Technologie
• Aiheet: Technology: general issues; Superlegierung; LIGA; Mikrosysteme; Nickel
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Ni-Al-Superlegierungen sind bekannt für ihre guten mechanischen Eigenschaften unter hohen Temperaturen. Die elektrochemische Abscheidung von Ni mit Al-Nanopartikeln in LIGA-Strukturen und folgender Wärmebehandlung bietet die Möglichkeit, Ni-Al Superlegierungen für Hochtemperatur-LIGA-MEMS nutzba...