Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken
In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit de...
Kaydedildi:
| Yazar: | |
|---|---|
| Materyal Türü: | Elektronik Kitap Bölümü |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
KIT Scientific Publishing
2012
|
| Seri Bilgileri: | Experimental Condensed Matter Physics / Karlsruher Institut für Technologie, Physikalisches Institut
|
| Konular: | |
| Online Erişim: | DOAB: download the publication DOAB: description of the publication |
| Etiketler: |
Etiketle
Etiket eklenmemiş, İlk siz ekleyin!
|
| Özet: | In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit den Elektromigrationsdaten Rückschlüsse auf die Entstehung der Morphologie des erzeugten Kontakts ziehen. |
|---|---|
| Fiziksel Özellikler: | 1 electronic resource (IV, 98 p. p.) |
| ISBN: | KSP/1000027524 9783866448438 |
| Erişim: | Open Access |