Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken
In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit de...
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| Main Author: | |
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| Format: | Electronic Book Chapter |
| Published: |
KIT Scientific Publishing
2012
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| Series: | Experimental Condensed Matter Physics / Karlsruher Institut für Technologie, Physikalisches Institut
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| Subjects: | |
| Online Access: | DOAB: download the publication DOAB: description of the publication |
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| Summary: | In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit den Elektromigrationsdaten Rückschlüsse auf die Entstehung der Morphologie des erzeugten Kontakts ziehen. |
|---|---|
| Physical Description: | 1 electronic resource (IV, 98 p. p.) |
| ISBN: | KSP/1000027524 9783866448438 |
| Access: | Open Access |