Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken
In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit de...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Electronic Book Chapter |
| Published: |
KIT Scientific Publishing
2012
|
| Series: | Experimental Condensed Matter Physics / Karlsruher Institut für Technologie, Physikalisches Institut
|
| Subjects: | |
| Online Access: | DOAB: download the publication DOAB: description of the publication |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
MARC
| LEADER | 00000naaaa2200000uu 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | doab_20_500_12854_49240 | ||
| 005 | 20210211 | ||
| 003 | oapen | ||
| 006 | m o d | ||
| 007 | cr|mn|---annan | ||
| 008 | 20210211s2012 xx |||||o ||| 0|deu d | ||
| 020 | |a KSP/1000027524 | ||
| 020 | |a 9783866448438 | ||
| 040 | |a oapen |c oapen | ||
| 024 | 7 | |a 10.5445/KSP/1000027524 |c doi | |
| 041 | 0 | |a deu | |
| 042 | |a dc | ||
| 072 | 7 | |a PH |2 bicssc | |
| 100 | 1 | |a Stöffler, Dominik |4 auth | |
| 245 | 1 | 0 | |a Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken |
| 260 | |b KIT Scientific Publishing |c 2012 | ||
| 300 | |a 1 electronic resource (IV, 98 p. p.) | ||
| 336 | |a text |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |a computer |b c |2 rdamedia | ||
| 338 | |a online resource |b cr |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Experimental Condensed Matter Physics / Karlsruher Institut für Technologie, Physikalisches Institut | |
| 506 | 0 | |a Open Access |2 star |f Unrestricted online access | |
| 520 | |a In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit den Elektromigrationsdaten Rückschlüsse auf die Entstehung der Morphologie des erzeugten Kontakts ziehen. | ||
| 540 | |a Creative Commons |f https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/ |2 cc |4 https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/ | ||
| 546 | |a German | ||
| 650 | 7 | |a Physics |2 bicssc | |
| 653 | |a Elektromigration | ||
| 653 | |a Nanostrukturen | ||
| 653 | |a Rastersondenmikroskopie | ||
| 653 | |a Maskenbedampfung | ||
| 653 | |a Elektronenstrahllithografie | ||
| 856 | 4 | 0 | |a www.oapen.org |u https://www.ksp.kit.edu/9783866448438 |7 0 |z DOAB: download the publication |
| 856 | 4 | 0 | |a www.oapen.org |u https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/49240 |7 0 |z DOAB: description of the publication |