Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken

• Main Author: Stöffler, Dominik (auth)
• Format: Electronic Book Chapter
• Published: KIT Scientific Publishing 2012
• Series: Experimental Condensed Matter Physics / Karlsruher Institut für Technologie, Physikalisches Institut
• Subjects: Physics; Elektromigration; Nanostrukturen; Rastersondenmikroskopie; Maskenbedampfung; Elektronenstrahllithografie
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In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit de...