Herstellung photonischer Komponenten durch Heißprägen und UV-induzierte Brechzahlmodifikation von PMMA
Im Polymer PMMA wurden durch Heißprägen sowohl stark führende, passive optische Wellenleiter wie auch organische DFB-Laser hergestellt und charakterisiert. Die Replikation der Strukturen erfolgte dabei durch auf Basis von mit UV- und Röntgenlithografie strukturierten Nickel-Shim-Formeinsätzen im...
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| Format: | Electronic Book Chapter |
| Published: |
KIT Scientific Publishing
2008
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| Summary: | Im Polymer PMMA wurden durch Heißprägen sowohl stark führende, passive optische Wellenleiter wie auch organische DFB-Laser hergestellt und charakterisiert. Die Replikation der Strukturen erfolgte dabei durch auf Basis von mit UV- und Röntgenlithografie strukturierten Nickel-Shim-Formeinsätzen im LIGA-Verfahren. |
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| Physical Description: | 1 electronic resource (XV, 87 p. p.) |
| ISBN: | KSP/1000007719 9783866442214 |
| Access: | Open Access |