Integrierte Lagesensorik für ein adaptives mikrooptisches Ablenksystem
In einem mikrooptischen Ablenksystem sollen die sensorischen Eigenschaften der ferromagnetischen Formgedächtnislegierung Ni-Mn-Ga untersucht werden. Dabei kommt ein elektro-thermisch aktivierbarer, durch einen Permanentmagneten vorausgelenkter Dünnfilm-Biegeaktor zur Strahlablenkung zum Einsatz. D...
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| Main Author: | |
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| Format: | Electronic Book Chapter |
| Published: |
KIT Scientific Publishing
2012
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| Series: | Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik
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| Subjects: | |
| Online Access: | DOAB: download the publication DOAB: description of the publication |
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| Summary: | In einem mikrooptischen Ablenksystem sollen die sensorischen Eigenschaften der ferromagnetischen Formgedächtnislegierung Ni-Mn-Ga untersucht werden. Dabei kommt ein elektro-thermisch aktivierbarer, durch einen Permanentmagneten vorausgelenkter Dünnfilm-Biegeaktor zur Strahlablenkung zum Einsatz. Die Untersuchung der Eignung des magnetoresistiven Materials zur Positionsermittlung ist Ziel dieser Arbeit. Zur vergleichenden Bewertung werden kapazitive und resistive Referenzsensoren herangezogen. |
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| Physical Description: | 1 electronic resource (VI, 132 p. p.) |
| ISBN: | KSP/1000027008 9783866448292 |
| Access: | Open Access |