Integrierte Lagesensorik für ein adaptives mikrooptisches Ablenksystem

• Main Author: Auernhammer, Daniel (auth)
• Format: Electronic Book Chapter
• Published: KIT Scientific Publishing 2012
• Series: Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik
• Subjects: Technology: general issues; Mikrosystemtechnik; Positionsermittlung; Ni-Mn-Ga; Ferromagnetische Formgedächtnislegierung; Ablenksystem
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In einem mikrooptischen Ablenksystem sollen die sensorischen Eigenschaften der ferromagnetischen Formgedächtnislegierung Ni-Mn-Ga untersucht werden. Dabei kommt ein elektro-thermisch aktivierbarer, durch einen Permanentmagneten vorausgelenkter Dünnfilm-Biegeaktor zur Strahlablenkung zum Einsatz. D...