Advances in Micro/Nano Electromechanical Systems and Fabrication Technologies
MEMS technology is increasingly penetrating into our lives and improving our quality of life. In parallel to this, advances in nanotechnology and nanomaterials have been catalyzing the rise of NEMS. Consisting of nine chapters reviewing state-of-the-art technologies and their future trends, this boo...
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| その他の著者: | |
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| フォーマット: | 電子媒体 図書の章 |
| 言語: | 英語 |
| 出版事項: |
IntechOpen
2013
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| 主題: | |
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