Simulasi fabrikasi dan pencirian elektrik 90nm NMOS menggunakan perisian SILVACO / Zairi Ismael Rizman ... [et al.]

• Main Authors: Rizman, Zairi Ismael (Author), Yeap, Kim Ho (Author), Miskon, Mohamad Taib (Author), Mohd Fauzi, Fadhli Dzul Hilmi (Author), Fadzal, Nazuha (Author), Mohamad, Norizan (Author)
• Format: Book
• Published: 2013.
• Subjects: Article; PeerReviewed
• Online Access: Link Metadata

Kertas penyelidikan ini menerangkan tentang kaedah merekabentuk 90nm semikonduktor logam oksida jenis-n, NMOS (N-Type Metal Oxide Semiconductor) menggunakan perisian SILVACO. Simulasi fabrikasi 90nm NMOS dilakukan dengan menggunakan modul ATHENA, manakala kajian ciri-ciri elektrik pula dilakukan den...