PENGARUH TEMPERATUR DEPOSISI TERHADAP KARAKTERISTIK LISTRIK PERSAMBUNGAN Al-GAN YANG DIDEPOSISI DENGAN METODE SOL GEL MENGGUNAKAN TEKNIK SPIN COATING
Film tipis GaN telah berhasil dideposisikan di atas subatrat silikon (111) dengan menggunakan metode sol gel teknik spin coating dengan kecepatan putaran sebesar 1108 rpm dan molaritas larutan sebesar 2.46 M. Lapisan-lapisan gel yang telah dihasilkan dimasukkan ke dalam programmable furnace dengan m...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Published: |
2011-02-25.
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Link Metadata |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|