ANALISIS KARAKTERISTIK LISTRIK FILM TIPIS GaN YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODE SOL-GEL SPIN COATING DENGAN VARIASI MOLARITAS Ga2O3, TEKANAN N2 DAN LAJU PUTARAN SPIN COATER
Telah dibuat film tipis GaN yang ditumbuhkan di atas substrat silikon (111) menggunakan metode sol-gel dengan teknik spin-coating dengan massa Ga2O3 2 gram dan 2.3 gram, tekanan N2 yang dialirkan sebesar 0.5 kgf/cm2 dan 1.5 kgf/cm2, temperatur deposisi 850oC, serta laju putaran spin-coater sebesar 1...
Saved in:
Main Author: | |
---|---|
Format: | Book |
Published: |
2011-02-25.
|
Subjects: | |
Online Access: | Link Metadata |
Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
Internet
Link Metadata3rd Floor Main Library
Call Number: |
A1234.567 |
---|---|
Copy 1 | Available |