KARAKTERISASI MICRORING RESONATOR (MRR) BERBASIS SILICON-ON-INSULATOR (SOI) DAN SENSITIVITAS SENSOR BERBASIS MRR UNTUK DETEKSI KADAR GLUKOSA
Karakterisasi dan simulasi Microring Resonator (MRR) berbasis Silicon-on-Insulator (SOI) dengan SiO_2 sebagai lapisan penyangga telah dilakukan untuk mengukur nilai quality factor dan sensitivitas dari MRR sebagai sensor untuk keperluan deteksi kadar glukosa. MRR berbasis SOI yang digunakan dalam pe...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Published: |
2019-06-17.
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Link Metadata |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|