SINTESIS LAPISAN TIPIS SNO2 DALAM APLIKASINYA SEBAGAI SENSOR GAS CO DAN PENGUJIAN SENSITIVITAS SFIS NOP s-2012

• Main Author: Nopriyanti, Rani (Author)
• Format: Book
• Published: 2012-11-20.
• Subjects: Thesis; NonPeerReviewed
• Online Access: Link Metadata
• Notes: http://repository.upi.edu/9119/1/s_fis_0807624_table_of_content.pdf; http://repository.upi.edu/9119/2/s_fis_0807624_chapter1.pdf; http://repository.upi.edu/9119/3/s_fis_0807624_chapter2.pdf; http://repository.upi.edu/9119/4/s_fis_0807624_chapter3.pdf; http://repository.upi.edu/9119/5/s_fis_0807624_chapter4.pdf; http://repository.upi.edu/9119/6/s_fis_0807624_chapter5.pdf; http://repository.upi.edu/9119/7/s_fis_0807624_bibliography.pdf
• Keywords: L Education (General)

Pada penelitian ini telah dilakukan pembuatan film tipis sensor gas CO berbasis SnO2 dibuat dengan menggunakan metode Sol-Gel. Untuk komponen sensor gas lainnya seperti elektroda terbuat dari emas dengan menggunakan metode Sputtering dan untuk heater terbuat dari PdAg dengan menggunakan metode screen printing. Dengan begitu sensor diharapkan mampu menghasilkan sensitivitas yang tinggi. Pengujian terhadap sensor dilakukan untuk mengetahui pengaruh temperatur terhadap resistansi sensor dan sensitivitas sensor dengan diberi aliran gas CO sebesar 10 ppm. Perubahan yang terjadi pada sensor gas ini yaitu, ketika temperatur diperbesar maka nilai sensitivitas sensor akan ikut meningkat juga, namun ketika temperatur yang diberikan melewati temperatur operasionalnya nilai sensitivitas sensor akan menurun. Selain itu juga dilakukan pengujian dengan menggunakan SEM dan EDS untuk mengetahui morfologi sensor dan komposisi penyusun sensor. Sehingga ditunjukkan bahwa lapisan sensor yang terbentuk memiliki 21,21% atom C, 22,43% atom O, 14,98% Si, 0,34% atom Cr, 1,16% atom Ag, 1,78% atom Sn, dan 38,11% atom Au.Kata Kunci : SnO2, sensor gas CO, sensitivitas, sputtering.