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    Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis

    Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis by Kopf, Marlene

    Published 2022
    “…Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie…”
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    Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis

    Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis by Kopf, Marlene

    Published 2022
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