Résultats de la recherche - "single crystal silicon"

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    Development of CMOS-MEMS/NEMS Devices par Verd, Jaume

    Publié 2019
    Sujets: “…single-crystal silicon (SC-Si)…”
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    MEMS/NEMS Sensors: Fabrication and Application par Koley, Goutam

    Publié 2019
    Sujets: “…single crystal silicon…”
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    Frontiers in Ultra-Precision Machining

    Publié 2022
    Sujets: “…single crystal silicon…”
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