Chemische und elektrochemische Methoden zur Oberflächenbearbeitung von galvanogeformten Nickel-Mikrostrukturen
Im Rahmen dieser Arbeit wurden drei verschiedene (elektro-) chemische Verfahren sowie die Verfahrenskombination Läppen und Elektropolieren zur Oberflächenbearbeitung von LIGA-Nickel-Mikrostrukturen in Hinblick auf die Verringerung der Rauheiten und die Reduzierung der Schichtdickeninhomogenität u...
Gorde:
Egile nagusia: | |
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Formatua: | Baliabide elektronikoa Liburu kapitulua |
Argitaratua: |
KIT Scientific Publishing
2010
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Saila: | Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik
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Gaiak: | |
Sarrera elektronikoa: | DOAB: download the publication DOAB: description of the publication |
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Internet
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A1234.567 |
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