Chemische und elektrochemische Methoden zur Oberflächenbearbeitung von galvanogeformten Nickel-Mikrostrukturen

• Main Author: Kißling, Stephanie (auth)
• Format: Electronic Book Chapter
• Published: KIT Scientific Publishing 2010
• Series: Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik
• Subjects: Technology: general issues; Chemisch-mechanisches Planarisieren (CMP); Elektropolieren; Plasmapolieren; Rauheitsmessung; Mikrogalvanoformung
• Online Access: DOAB: download the publication; DOAB: description of the publication

Im Rahmen dieser Arbeit wurden drei verschiedene (elektro-) chemische Verfahren sowie die Verfahrenskombination Läppen und Elektropolieren zur Oberflächenbearbeitung von LIGA-Nickel-Mikrostrukturen in Hinblick auf die Verringerung der Rauheiten und die Reduzierung der Schichtdickeninhomogenität u...