Chemische und elektrochemische Methoden zur Oberflächenbearbeitung von galvanogeformten Nickel-Mikrostrukturen
Im Rahmen dieser Arbeit wurden drei verschiedene (elektro-) chemische Verfahren sowie die Verfahrenskombination Läppen und Elektropolieren zur Oberflächenbearbeitung von LIGA-Nickel-Mikrostrukturen in Hinblick auf die Verringerung der Rauheiten und die Reduzierung der Schichtdickeninhomogenität u...
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| Format: | Electronic Book Chapter |
| Published: |
KIT Scientific Publishing
2010
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| Series: | Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik
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| Subjects: | |
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