Entwicklung eines maskenlosen Fotolithographiesystems zum Einsatz im Rapid Prototyping in der Mikrofluidik und zur gezielten Oberflächenfunktionalisierung

In this work, a maskless lithography device based on a micro-mirror array was designed and built. Single projection frames are seamlessly projected next to each other. Microfluidic chips of several cm² size comprising channels of 50 µm have been built of various polymers via direct lithography and c...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Автор: Waldbaur, Ansgar (auth)
Формат: Електронний ресурс Частина з книги
Опубліковано: KIT Scientific Publishing 2013
Серія:Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik
Предмети:
Онлайн доступ:DOAB: download the publication
DOAB: description of the publication
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!

Інтернет

DOAB: download the publication
DOAB: description of the publication

3rd Floor Main Library

Детальна інфо про примірники із 3rd Floor Main Library
Шифр: A1234.567
Примірник 1 Доступно