Entwicklung eines maskenlosen Fotolithographiesystems zum Einsatz im Rapid Prototyping in der Mikrofluidik und zur gezielten Oberflächenfunktionalisierung
In this work, a maskless lithography device based on a micro-mirror array was designed and built. Single projection frames are seamlessly projected next to each other. Microfluidic chips of several cm² size comprising channels of 50 µm have been built of various polymers via direct lithography and c...
Збережено в:
Автор: | |
---|---|
Формат: | Електронний ресурс Частина з книги |
Опубліковано: |
KIT Scientific Publishing
2013
|
Серія: | Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik
|
Предмети: | |
Онлайн доступ: | DOAB: download the publication DOAB: description of the publication |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Інтернет
DOAB: download the publicationDOAB: description of the publication
3rd Floor Main Library
Шифр: |
A1234.567 |
---|---|
Примірник 1 | Доступно |