Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren

• Auteur principal: Grund, Thomas (auth)
• Format: Électronique Chapitre de livre
• Publié: KIT Scientific Publishing 2010
• Collection: Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik
• Sujets: Technology: general issues; Serienfertigung; Mikrosystemtechnik; Formgedächtnislegierung; Ventil; Aktorik
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Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen...