Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren
Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Electronic Book Chapter |
| Published: |
KIT Scientific Publishing
2010
|
| Series: | Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik
|
| Subjects: | |
| Online Access: | DOAB: download the publication DOAB: description of the publication |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|