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Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken

In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit de...

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ग्रंथसूची विवरण
मुख्य लेखक:	Stöffler, Dominik (auth)
स्वरूप:	इलेक्ट्रोनिक पुस्तक अध्याय
प्रकाशित:	KIT Scientific Publishing 2012
श्रृंखला:	Experimental Condensed Matter Physics / Karlsruher Institut für Technologie, Physikalisches Institut
विषय:	Physics Elektromigration Nanostrukturen Rastersondenmikroskopie Maskenbedampfung Elektronenstrahllithografie
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