MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren
Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung ""Small Equipment for small Parts"" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorg...
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| Format: | Electronic Book Chapter |
| Published: |
KIT Scientific Publishing
2006
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| Series: | Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik / Automatisierungstechnik
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| Subjects: | |
| Online Access: | DOAB: download the publication DOAB: description of the publication |
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