MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren

Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung ""Small Equipment for small Parts"" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorg...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Bär, Manfred [Hrsg.] (auth)
Format: Electronic Book Chapter
Published: KIT Scientific Publishing 2006
Series:Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik / Automatisierungstechnik
Subjects:
Online Access:DOAB: download the publication
DOAB: description of the publication
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

DOAB: download the publication
DOAB: description of the publication

3rd Floor Main Library

Holdings details from 3rd Floor Main Library
Call Number: A1234.567
Copy 1 Available