MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren

Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung ""Small Equipment for small Parts"" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorg...

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Bibliographic Details
Main Author: Bär, Manfred [Hrsg.] (auth)
Format: Electronic Book Chapter
Published: KIT Scientific Publishing 2006
Series:Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik / Automatisierungstechnik
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Description
Summary:Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung ""Small Equipment for small Parts"" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorgestellt und es werden die erforderlichen Prozesse zur Herstellung des hybrid aufgebauten Sensors beschrieben.
Physical Description:1 electronic resource (XVIII, 91 p. p.)
ISBN:KSP/1000003769
3937300953
Access:Open Access