MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren
Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung ""Small Equipment for small Parts"" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorg...
Kaydedildi:
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| Materyal Türü: | Elektronik Kitap Bölümü |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
KIT Scientific Publishing
2006
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| Seri Bilgileri: | Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik / Automatisierungstechnik
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| Konular: | |
| Online Erişim: | DOAB: download the publication DOAB: description of the publication |
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| Özet: | Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung ""Small Equipment for small Parts"" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorgestellt und es werden die erforderlichen Prozesse zur Herstellung des hybrid aufgebauten Sensors beschrieben. |
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| Fiziksel Özellikler: | 1 electronic resource (XVIII, 91 p. p.) |
| ISBN: | KSP/1000003769 3937300953 |
| Erişim: | Open Access |