Micro Electronic and Mechanical Systems

This book discusses key aspects of MEMS technology areas, organized in twenty-seven chapters that present the latest research developments in micro electronic and mechanical systems. The book addresses a wide range of fundamental and practical issues related to MEMS, advanced metal-oxide-semiconduct...

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Takahata, Kenichi (Herausgegeben von)
Format: Elektronisch Buchkapitel
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: IntechOpen 2009
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Signatur: A1234.567
Exemplar 1 Verfügbar