Micro Electronic and Mechanical Systems
This book discusses key aspects of MEMS technology areas, organized in twenty-seven chapters that present the latest research developments in micro electronic and mechanical systems. The book addresses a wide range of fundamental and practical issues related to MEMS, advanced metal-oxide-semiconduct...
Збережено в:
| Інші автори: | |
|---|---|
| Формат: | Електронний ресурс Частина з книги |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
IntechOpen
2009
|
| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | DOAB: download the publication DOAB: description of the publication |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Інтернет
DOAB: download the publicationDOAB: description of the publication
3rd Floor Main Library
| Шифр: |
A1234.567 |
|---|---|
| Примірник 1 | Доступно |