Micro- and Nano-Fabrication by Metal Assisted Chemical Etching

Metal-assisted chemical etching (MacEtch) has recently emerged as a new etching technique capable of fabricating high aspect ratio nano- and microstructures in a few semiconductors substrates-Si, Ge, poly-Si, GaAs, and SiC-and using different catalysts-Ag, Au, Pt, Pd, Cu, Ni, and Rh. Several shapes...

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Weitere Verfasser: Romano, Lucia (Herausgegeben von)
Format: Elektronisch Buchkapitel
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: Basel, Switzerland MDPI - Multidisciplinary Digital Publishing Institute 2021
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