VARIASI SUHU DEPOSISI PADA STRUKTUR, SIFAT OPTIK DAN LISTRIK FILM TIPIS SENG OKSIDA DENGAN DOPING GALIUM (ZNO:GA)

• Main Authors: S. Sulhadi (Author), F. Fatiatun (Author), P. Marwoto (Author), S. Sugianto (Author), E. Wibowo (Author)
• Format: Bog
• Udgivet: Semarang State University, 2015-01-01T00:00:00Z.
• Fag: article
• Online adgang: Connect to this object online.

<p>Telah dilakukan deposisi film tipis ZnO:Ga di atas substrat kaca korning pada tekanan deposisi 500 mtorr dengan metode <em>DC-magnetron sputtering</em>. Film ditumbuhkan masing-masing pada suhu 325^oC, 375^oC, dan 425<sup>o</s...