Nanoparticle Engineering for Chemical-Mechanical Planarization Fabrication of Next-Generation Nanodevices
Increasing reliance on electronic devices demands products with high performance and efficiency. Such devices can be realized through the advent of nanoparticle technology. This book explains the physicochemical properties of nanoparticles according to each step in the chemical mechanical planarizat...
Պահպանված է:
| Հիմնական հեղինակ: | |
|---|---|
| Այլ հեղինակներ: | |
| Ձևաչափ: | Էլեկտրոնային Գրքի գլուխ |
| Լեզու: | անգլերեն |
| Հրապարակվել է: |
Taylor & Francis
2009
|
| Խորագրեր: | |
| Առցանց հասանելիություն: | OAPEN Library: download the publication OAPEN Library: description of the publication |
| Ցուցիչներ: |
Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
|