Nanoparticle Engineering for Chemical-Mechanical Planarization Fabrication of Next-Generation Nanodevices
Increasing reliance on electronic devices demands products with high performance and efficiency. Such devices can be realized through the advent of nanoparticle technology. This book explains the physicochemical properties of nanoparticles according to each step in the chemical mechanical planarizat...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Médium: | Elektronický zdroj Kapitola |
| Jazyk: | angličtina |
| Vydáno: |
Taylor & Francis
2009
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | OAPEN Library: download the publication OAPEN Library: description of the publication |
| Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!
|
Buďte první, kdo okomentuje tento záznam!