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Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis

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Due to a trend towards miniaturization of many MEMS devices and thus also the cavity volumes of inertial sensors, the influence of slight changes in the damping atmosphere in sensor cavities on the reliability of the sensors is increasing. In this work, mechanisms affecting the pressure stability of...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Kopf, Marlene (auth)
Format: Elektronisch Buchkapitel
Veröffentlicht: Karlsruhe KIT Scientific Publishing 2022
Schriftenreihe:Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie 42
Schlagworte:
Mechanical engineering & materials
MEMS-Sensor
Drehratensensor
Inertialsensor
Dämpfung
Q-Faktor
MEMS sensor
gyroscope
inertial sensor
damping atmosphere
Q factor
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Signatur: A1234.567
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