Free space microwave characterization of silicon wafers for microelectronic applications / Zaiki Awang, Deepak Kumar Ghodgaonkar and Noor Hasimah Baba
A contactless and non-destructive microwave method has been developed to characterize silicon semiconductor wafers from reflection and transmission measurements made at normal incidence using MNDT. The measurement system consists of a pair of spot-focusing horn lens antenna, mode transitions, coaxia...
সংরক্ষণ করুন:
প্রধান লেখক: | , , |
---|---|
বিন্যাস: | গ্রন্থ |
প্রকাশিত: |
Institute of Research, Development and Commercialisation (IRDC),
2005.
|
বিষয়গুলি: | |
অনলাইন ব্যবহার করুন: | Link Metadata |
ট্যাগগুলো: |
ট্যাগ যুক্ত করুন
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!
|
আন্তর্জাল
Link Metadata3rd Floor Main Library
ডাক সংখ্যা: |
A1234.567 |
---|---|
প্রতিলিপি 1 | লভ্য |