Statistical optimization influence on high permittivity gate spacer in 16nm DG-FinFET device / Ameer F. Rosla ... [et al.]

In this paper, the effect of high permittivity gate spacer on short channel effects (SCEs) for the 16 nm double-gate finFET is investigated, with the output responses optimized using L9 orthogonal array (OA) Taguchi method. The determination is done through Signal-to-noise ratio to the effectiveness...

Volledige beschrijving

Bewaard in:
Bibliografische gegevens
Hoofdauteurs: Rosla, Ameer F. (Auteur), Salehuddin, F. (Auteur), Zain, A.S.M (Auteur), Kaharudin, K.E (Auteur), Mohamad, N.R (Auteur), A.H, Afifah Maheran (Auteur), Haroon, H. (Auteur), Razak, H.A (Auteur), Idris, S.K (Auteur), Ahmad, I. (Auteur)
Formaat: Boek
Gepubliceerd in: Universiti Teknologi MARA, 2022-01.
Onderwerpen:
Online toegang:Link Metadata
Tags: Voeg label toe
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!

Internet

Link Metadata

3rd Floor Main Library

Exemplaargegevens van 3rd Floor Main Library
Plaatsingsnummer: A1234.567
Kopie 1 Beschikbaar