Entwicklung eines maskenlosen Fotolithographiesystems zum Einsatz im Rapid Prototyping in der Mikrofluidik und zur gezielten Oberflächenfunktionalisierung

• Hoofdauteur: Waldbaur, Ansgar (auth)
• Formaat: Elektronisch Hoofdstuk
• Gepubliceerd in: KIT Scientific Publishing 2013
• Reeks: Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik
• Onderwerpen: Technology: general issues; Mikrofluidikchip; Rapid Prototyping; Mikrospiegelarray; Ligandenmuster; Lithographie
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In this work, a maskless lithography device based on a micro-mirror array was designed and built. Single projection frames are seamlessly projected next to each other. Microfluidic chips of several cm² size comprising channels of 50 µm have been built of various polymers via direct lithography and c...