Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren

• Main Author: Grund, Thomas (auth)
• Format: Electronic Book Chapter
• Published: KIT Scientific Publishing 2010
• Series: Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik
• Subjects: Technology: general issues; Serienfertigung; Mikrosystemtechnik; Formgedächtnislegierung; Ventil; Aktorik
• Online Access: DOAB: download the publication; DOAB: description of the publication

Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen...