Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren

• Hoofdauteur: Grund, Thomas (auth)
• Formaat: Elektronisch Hoofdstuk
• Gepubliceerd in: KIT Scientific Publishing 2010
• Reeks: Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik
• Onderwerpen: Technology: general issues; Serienfertigung; Mikrosystemtechnik; Formgedächtnislegierung; Ventil; Aktorik
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Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen...