Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren

Die Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhöhte Systemflexibilität bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasie...

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Main Author: Schüle, Sven (auth)
Format: Electronic Book Chapter
Published: KIT Scientific Publishing 2010
Series:Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik
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