Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren

• Päätekijä: Schüle, Sven (auth)
• Aineistotyyppi: Elektroninen Kirjan osa
• Julkaistu: KIT Scientific Publishing 2010
• Sarja: Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik
• Aiheet: Technology: general issues; Mikrosystemtechnik; Interferometer; LIGA-Mikrosysteme; Mikroaktorik; modulare Mikrosysteme
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Die Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhöhte Systemflexibilität bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasie...