Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren

• Main Author: Schüle, Sven (auth)
• Format: Electronic Book Chapter
• Published: KIT Scientific Publishing 2010
• Series: Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik
• Subjects: Technology: general issues; Mikrosystemtechnik; Interferometer; LIGA-Mikrosysteme; Mikroaktorik; modulare Mikrosysteme
• Online Access: DOAB: download the publication; DOAB: description of the publication

Die Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhöhte Systemflexibilität bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasie...