Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren

• Autore principale: Schüle, Sven (auth)
• Natura: Elettronico Capitolo di libro
• Pubblicazione: KIT Scientific Publishing 2010
• Serie: Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik
• Soggetti: Technology: general issues; Mikrosystemtechnik; Interferometer; LIGA-Mikrosysteme; Mikroaktorik; modulare Mikrosysteme
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Die Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhöhte Systemflexibilität bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasie...