MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren

• Päätekijä: Bär, Manfred [Hrsg.] (auth)
• Aineistotyyppi: Elektroninen Kirjan osa
• Julkaistu: KIT Scientific Publishing 2006
• Sarja: Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik / Automatisierungstechnik
• Aiheet: Technology: general issues; Optischer Sensor
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Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung ""Small Equipment for small Parts"" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorg...