Micro Electronic and Mechanical Systems

This book discusses key aspects of MEMS technology areas, organized in twenty-seven chapters that present the latest research developments in micro electronic and mechanical systems. The book addresses a wide range of fundamental and practical issues related to MEMS, advanced metal-oxide-semiconduct...

Бүрэн тодорхойлолт

-д хадгалсан:
Номзүйн дэлгэрэнгүй
Бусад зохиолчид: Takahata, Kenichi (Засварлагч)
Формат: Цахим Номын бүлэг
Хэл сонгох:англи
Хэвлэсэн: IntechOpen 2009
Нөхцлүүд:
Онлайн хандалт:DOAB: download the publication
DOAB: description of the publication
Шошгууд: Шошго нэмэх
Шошго байхгүй, Энэхүү баримтыг шошголох эхний хүн болох!

Ижил төстэй зүйлс