Micro Electronic and Mechanical Systems

This book discusses key aspects of MEMS technology areas, organized in twenty-seven chapters that present the latest research developments in micro electronic and mechanical systems. The book addresses a wide range of fundamental and practical issues related to MEMS, advanced metal-oxide-semiconduct...

Mô tả đầy đủ

Đã lưu trong:
Chi tiết về thư mục
Tác giả khác: Takahata, Kenichi (Biên tập viên)
Định dạng: Điện tử Chương của sách
Ngôn ngữ:Tiếng Anh
Được phát hành: IntechOpen 2009
Những chủ đề:
Truy cập trực tuyến:DOAB: download the publication
DOAB: description of the publication
Các nhãn: Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!