Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis
Due to a trend towards miniaturization of many MEMS devices and thus also the cavity volumes of inertial sensors, the influence of slight changes in the damping atmosphere in sensor cavities on the reliability of the sensors is increasing. In this work, mechanisms affecting the pressure stability of...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Электронный ресурс Глава книги |
| Опубликовано: |
Karlsruhe
KIT Scientific Publishing
2022
|
| Серии: | Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie
42 |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | OAPEN Library: download the publication OAPEN Library: description of the publication |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
Search Result 1
DOAB: description of the publication
Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis
Опубликовано 2022
DOAB: download the publication
DOAB: description of the publication
Электронный ресурс
Глава книги