Investigation of doping techniques on the silicon based capacitor / Ahmad Sabirin Zoolfakar ...[et al.]
This technical paper investigates the effect of doping techniques, type of dopant species and the plate size on the capacitance density of a silicon based capacitor. The substrate of the silicon wafers are highly doped using either solid source (SS) or spin-on dopant (SOD) method. Experiments are ca...
সংরক্ষণ করুন:
| প্রধান লেখক: | , , , , |
|---|---|
| বিন্যাস: | গ্রন্থ |
| প্রকাশিত: |
UiTM Press,
2010-06.
|
| বিষয়গুলি: | |
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | Link Metadata |
| ট্যাগগুলো: |
ট্যাগ যুক্ত করুন
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!
|